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　　（1）易燃性氣體

　　把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí)，PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃。都有一定的著火燃燒**范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起**燃燒危險(xiǎn)性就越高，如B 2H6的**上限為98%，**下限為0.9%。屬于有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

　　毒性氣體（Toxic Gas）：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。

　?。?）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。

　　惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

　?。?）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時(shí)具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。 進(jìn)口減壓器天津一級代理