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醫(yī)用氣體管道工程的參數(shù)有哪些講究呢?
瀏覽次數(shù):1562發(fā)布日期:2021-10-16
  醫(yī)用氣體管道工程輸送管道,要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細,它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求,從微米技術(shù)進入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù),對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴格,10 -6(ppm級)已經(jīng)不能達到要求,需要達到10-9(ppb級),甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。
  下面談一談對于高純氣體管路的選擇。
  首先,對輸送醫(yī)用氣體管道工程而言,其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。
  氣體滲透性:
  氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。對于輸送ppm級及更高純度要求的氣體,從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管,如果我們不恰當?shù)剡x用了不符合要求的管道材料,那么,無論我們采取什么凈化手段,都將是無濟于事的。
  出氣速率:
  材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì),如氮、碳氫化合物等,在高純氣體輸送過程中,這些雜質(zhì)會緩慢地釋放出來,污染高純氣體,尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
  吸附性:
  由于水分等雜質(zhì)是極性分子,吸附性很強。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質(zhì),銅材對水吸附性*,使用這些材料輸送高純氣體易被污染,除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外,高純氣體都不采用銅管和塑料管,氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。
  表面粗糙度和耐磨性:
  為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內(nèi)表面有一個*的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速沖刷下,產(chǎn)生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。
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